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产品描述
Taberz® 9510全氟橡胶是一种黑色的产品，适用于半导体制造业中大多数干法等离子体（PECVD、LPCVD、金属CVD）和高温热工艺。它具有出色的耐热性、较低的压缩永久变形和在极端温度下的密封力保持能力。
Taberz® 9510全氟橡胶适用于-10°C至320°C温度范围内的大多数应用，在各种介质中具有广泛的耐化学性，包括酸、腐蚀剂、酮、醛、酯、醚、醇、溶剂、酸性气体和碳氢化合物。然而，不建议在水蒸气和胺类应用中使用。所有的Taberz® 9510全氟橡胶采用超声波清洁和真空包装。
特点
– 优异的高温密封力保持性能
– 优异的压缩永久变形性能
– 优异的耐高温性能
应用行业
– 半导体
– 航天航空
– 高温化学品
– 碳氢化合物加工
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