1. 该系统是一台高真空单室离子束刻蚀系统，离子束刻蚀是利用低能量平行Ar+离子束对基片表面进行轰击，将基片表面未覆盖掩膜的部分溅射出，从而达到选择刻蚀的目的主要用来金属、合金、氧化物、化合物、混合材料、半导体、绝缘体、超导体等材料的刻蚀。系统主要由刻蚀室、考夫曼离子源及电源、水冷样品转台、泵抽系统、真空测量系统、气路系统、电控系统等组成。。

2. 溅射室极限真空度：≤6.6x10-5Pa (经烘烤除气后)；

真空获得采用FF160/600任意角度安装脂润滑分子泵和优质机械泵（8L/S）+CF150手动插班阀，此配置具有抽速快，可获得高真空环境，提供薄膜的洁净度。

系统真空检漏漏率：≤5.0x10-7Pa.l/S；

系统从大气开始抽气：溅射室40分钟可达到6.6x10-4 Pa；

系统停泵关机12小时后真空度：≤5Pa

3. 刻蚀室中配有1套国产80mm考夫曼离子源。

4. 样品台布置在真空室下部，可放置最大50.8×50.8mm样品3片，样品台可旋转角度。

5. 真空测量采用国产复合真空计进行测量。

6. 系统配有一路国产MFC控制进气系统（Ar），流量分别为100SCCM。

7. 镀膜工艺压力控制采用手动插板阀+MFC控制，保证镀膜镀膜工艺具有较高的可靠性、稳定性和重复性。

8. 系统配有1台考夫曼离子源电源。

一、系统功能及构成

该系统为单室结构，主要由溅射真空室、离子源、水冷基片台、离子源电源、工作气路、真空获得系统、安装机台、真空测量、水冷却及报警系统和控制系统等部分组成，可用于金属薄膜、介质膜等的刻蚀。

二、系统的主要组成及技术指标

溅射室极限真空度：≤6.6x10-5Pa(经烘烤除气后)；

系统真空检漏漏率：≤5.0x10-7Pa.l/S；

系统从大气开始抽气：溅射室40分钟可达到6.6x10-4 Pa；

系统停泵关机12小时后真空度：≤5Pa；

1 、溅射真空室 1套

真空室为D形前开门结构，约为尺寸Ф420mmx450mm，全不锈钢结构。可内烘烤到100～150℃，选用不锈钢材料制造，氩弧焊接，表面进行电化学抛光国内首家钝化处理，接口采用金属垫圈密封或氟橡胶圈密封；手动前开门结构；靶安装在下盖板，基片转台在上法兰。

真空室组件上焊有各种规格的法兰接口如下：

1.1、 RF100法兰接口：1个（观察窗口）；

1.2、CF16法兰接口：2个（1路进气管路、放气阀）；

1.3、CF150法兰接口：1个（接分子泵）；

1.4、上法兰接口：1个（用来安装磁控靶和靶挡板）

1.5、RF100法兰接口：1个（用来安装样品台）

1.6、CF35法兰接口：4个(接高真空电离规管、旁抽口、陶封引线,离子源)；

1.7、CF16法兰接口：3个；

1.8、考夫曼离子源接口：1套

2 、考夫曼离子源 1套

2.1、引出栅直径：Φ80mm；

2.2、最大离子束能量：1200ev；

2.3、离子流密度：1～5mA/cm2；

2.4、最大束流：120mA；

2.5、常规工作束流100mA

2.6、工作真空度：1.5×10-2Pa；

2.7、工作方式：离子源与直接或成角度对准样品台；

2.8、离子源安装在真空室顶部。

3、水冷基片台 1套

3.1 基片尺寸和数量：50.8×50.8mm样品一次放置3片。

3.3、 基片台通水冷却；

3.4、 基片台可手动调整角度；

4、窗口及法兰接口部件 1套

4.1、RF100玻璃窗口：1块；

4.2、CF35陶瓷封接引线法兰：1个（照明及内烘烤引线）；

4.3、盲法兰：CF16：1个；CF35：1个。

5、水冷装置 1套

水冷装置在真空室下法兰上，对基片托板进行水冷；

6、工作气路 1套

7.1、100SCCM、50SCCM质量流量控制器（国产）、CF16电动截止阀、管路、接头等：共2路

7.2 DN16手动充气阀、管路、接头等：2路（国产）；

7、抽气机组及阀门、管道 1套

7.1、脂润滑复合分子泵及控制电源：1台（FF160/600 600L/S北京）；

8.3、 机械泵：8L/S（飞越）

8.4、 DN40气动截止阀：1台（北京）；

8.4、 机械泵与真空室之间的旁抽管路：1套；

8.5、 CC150手动闸板阀：1台（用于复合分子泵与真空室隔离）；

8.3、 DN40气动旁抽角阀：1台（北京）；

8.4、 压差式充气阀：1台（上海）；

9、安装机台架组件 1套

优质方钢型材焊接成，快卸围板表面喷塑处理；机台表面用不锈钢蒙皮装饰；四只脚轮，可固定，可移动。

10、真空测量 1套

溅射室采用国产ZDF5227复合真空计进行测量。

11、备品备件 1套

《产品配置清单》

序号 名称 参数 数量

1 高真空不锈钢腔室 约Φ420mm×450mm 1套

2 腔体防污内衬 1套

3 观察窗及法兰 RF100配衬玻璃防污 1套

4 腔室照明 1只

5 旋转基片工装 基片台 1套

6 电机及电源 1套

7 基片台水冷系统 1套

8 分子泵 600L/s 1套

11 机械泵 1套

12 手动插板阀 CC-150 1台

13 旁抽阀 DF40 1台

14 截止阀 DF40 1台

15 电磁充气阀 DF40 1台

16 电磁截止阀 DN6 1支

17 气动截止阀 DN16 1支

18 真空抽气管道 不锈钢三通及波纹管 2台

19 真空计 ZDF-5227 1个

20 离子源 8cm 1台

21 离子源电源 1台

22 质量流量控制器 量程0-100SCCM 1路

23 控温电源系统 1套

24 控制电源 1台

25 总控制电源 1台

26 水管、变通、接嘴、不锈钢球阀、气路卡套、管接头 不锈钢材质,配套合理管路 1套

27 气管、变通、接头气体管道 金属管 1套

28 安装机架 表面喷塑、配脚轮、配门 1台

29 密封、连接件及其附件 金属密封（静密封）+氟胶圈密封

30 氟橡胶密封圈 相应规格的泵、阀、管路、各轴封处易损密封圈

31 无氧铜垫圈 1批

32 螺栓、螺母、垫圈、螺钉等标准件 1套

三、设备安装条件要求

l 1、供电电源：三相380V，50Hz，25A空开

l 2、接地(Ground)；

l 系统接地:3Ω以下线径14mm2×1

l 3、设备外形尺寸；1300*1200*1800

l 4、冷却水(Cooling water):

l 压力:1.5～2kg/cm2,進出水口压力差1kg/cm2以上

l 流速:25～30L/M过滤软水

l 温度:20～22℃

l 水质:过滤软水

l 接头规格:1”PT內牙×2

四、技术服务及质量保证

1 、按ISO9001质量管理体系组织设计、加工、装调、检验、包装、运输；

2 、提供该设备的技术使用说明书及外购配件仪器仪表说明书；

3 、在甲方现场验收后，一年内免费维修正常使用出现的故障，非正常的故障维修只核收工本费，终身维修只核收工本费；

五、培训

1、培训时间：1周

培训人数：2～3人

2、培训内容及要求：

1）、了解设备的工作原理、组成及各部组件、控制系统的工作原理和使用方法；

2）熟练掌握整套系统的操作规程；

3）能够对设备的一般故障进行诊断和简单维修，进行易损件的更换；

4）对设备能够进行日常的维护和保养。