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公司地址:深圳市龙岗区中心城风临国际A座2211室
工厂地址:中国 广东省东莞市清溪镇罗马路罗马二桥241号
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1. 该系统是一台高真空单室离子束刻蚀系统,离子束刻蚀是利用低能量平行Ar+离子束对基片表面进行轰击,将基片表面未覆盖掩膜的部分溅射出,从而达到选择刻蚀的目的主要用来金属、合金、氧化物、化合物、混合材料、半导体、绝缘体、超导体等材料的刻蚀。系统主要由刻蚀室、考夫曼离子源及电源、水冷样品转台、泵抽系统、真空测量系统、气路系统、电控系统等组成。。
2. 溅射室极限真空度:≤6.6x10-5Pa (经烘烤除气后);
真空获得采用FF160/600任意角度安装脂润滑分子泵和优质机械泵(8L/S)+CF150手动插班阀,此配置具有抽速快,可获得高真空环境,提供薄膜的洁净度。
系统真空检漏漏率:≤5.0x10-7Pa.l/S;
系统从大气开始抽气:溅射室40分钟可达到6.6x10-4 Pa;
系统停泵关机12小时后真空度:≤5Pa
3. 刻蚀室中配有1套国产80mm考夫曼离子源。
4. 样品台布置在真空室下部,可放置最大50.8×50.8mm样品3片,样品台可旋转角度。
5. 真空测量采用国产复合真空计进行测量。
6. 系统配有一路国产MFC控制进气系统(Ar),流量分别为100SCCM。
7. 镀膜工艺压力控制采用手动插板阀+MFC控制,保证镀膜镀膜工艺具有较高的可靠性、稳定性和重复性。
8. 系统配有1台考夫曼离子源电源。
一、系统功能及构成
该系统为单室结构,主要由溅射真空室、离子源、水冷基片台、离子源电源、工作气路、真空获得系统、安装机台、真空测量、水冷却及报警系统和控制系统等部分组成,可用于金属薄膜、介质膜等的刻蚀。
二、系统的主要组成及技术指标
溅射室极限真空度:≤6.6x10-5Pa(经烘烤除气后);
系统真空检漏漏率:≤5.0x10-7Pa.l/S;
系统从大气开始抽气:溅射室40分钟可达到6.6x10-4 Pa;
系统停泵关机12小时后真空度:≤5Pa;
1 、溅射真空室 1套
真空室为D形前开门结构,约为尺寸Ф420mmx450mm,全不锈钢结构。可内烘烤到100~150℃,选用不锈钢材料制造,氩弧焊接,表面进行电化学抛光国内首家钝化处理,接口采用金属垫圈密封或氟橡胶圈密封;手动前开门结构;靶安装在下盖板,基片转台在上法兰。
真空室组件上焊有各种规格的法兰接口如下:
1.1、 RF100法兰接口:1个(观察窗口);
1.2、CF16法兰接口:2个(1路进气管路、放气阀);
1.3、CF150法兰接口:1个(接分子泵);
1.4、上法兰接口:1个(用来安装磁控靶和靶挡板)
1.5、RF100法兰接口:1个(用来安装样品台)
1.6、CF35法兰接口:4个(接高真空电离规管、旁抽口、陶封引线,离子源);
1.7、CF16法兰接口:3个;
1.8、考夫曼离子源接口:1套
2 、考夫曼离子源 1套
2.1、引出栅直径:Φ80mm;
2.2、最大离子束能量:1200ev;
2.3、离子流密度:1~5mA/cm2;
2.4、最大束流:120mA;
2.5、常规工作束流100mA
2.6、工作真空度:1.5×10-2Pa;
2.7、工作方式:离子源与直接或成角度对准样品台;
2.8、离子源安装在真空室顶部。
3、水冷基片台 1套
3.1 基片尺寸和数量:50.8×50.8mm样品一次放置3片。
3.3、 基片台通水冷却;
3.4、 基片台可手动调整角度;
4、窗口及法兰接口部件 1套
4.1、RF100玻璃窗口:1块;
4.2、CF35陶瓷封接引线法兰:1个(照明及内烘烤引线);
4.3、盲法兰:CF16:1个;CF35:1个。
5、水冷装置 1套
水冷装置在真空室下法兰上,对基片托板进行水冷;
6、工作气路 1套
7.1、100SCCM、50SCCM质量流量控制器(国产)、CF16电动截止阀、管路、接头等:共2路
7.2 DN16手动充气阀、管路、接头等:2路(国产);
7、抽气机组及阀门、管道 1套
7.1、脂润滑复合分子泵及控制电源:1台(FF160/600 600L/S北京);
8.3、 机械泵:8L/S(飞越)
8.4、 DN40气动截止阀:1台(北京);
8.4、 机械泵与真空室之间的旁抽管路:1套;
8.5、 CC150手动闸板阀:1台(用于复合分子泵与真空室隔离);
8.3、 DN40气动旁抽角阀:1台(北京);
8.4、 压差式充气阀:1台(上海);
9、安装机台架组件 1套
优质方钢型材焊接成,快卸围板表面喷塑处理;机台表面用不锈钢蒙皮装饰;四只脚轮,可固定,可移动。
10、真空测量 1套
溅射室采用国产ZDF5227复合真空计进行测量。
11、备品备件 1套
《产品配置清单》
序号 名称 参数 数量
1 高真空不锈钢腔室 约Φ420mm×450mm 1套
2 腔体防污内衬 1套
3 观察窗及法兰 RF100配衬玻璃防污 1套
4 腔室照明 1只
5 旋转基片工装 基片台 1套
6 电机及电源 1套
7 基片台水冷系统 1套
8 分子泵 600L/s 1套
11 机械泵 1套
12 手动插板阀 CC-150 1台
13 旁抽阀 DF40 1台
14 截止阀 DF40 1台
15 电磁充气阀 DF40 1台
16 电磁截止阀 DN6 1支
17 气动截止阀 DN16 1支
18 真空抽气管道 不锈钢三通及波纹管 2台
19 真空计 ZDF-5227 1个
20 离子源 8cm 1台
21 离子源电源 1台
22 质量流量控制器 量程0-100SCCM 1路
23 控温电源系统 1套
24 控制电源 1台
25 总控制电源 1台
26 水管、变通、接嘴、不锈钢球阀、气路卡套、管接头 不锈钢材质,配套合理管路 1套
27 气管、变通、接头气体管道 金属管 1套
28 安装机架 表面喷塑、配脚轮、配门 1台
29 密封、连接件及其附件 金属密封(静密封)+氟胶圈密封
30 氟橡胶密封圈 相应规格的泵、阀、管路、各轴封处易损密封圈
31 无氧铜垫圈 1批
32 螺栓、螺母、垫圈、螺钉等标准件 1套
三、设备安装条件要求
l 1、供电电源:三相380V,50Hz,25A空开
l 2、接地(Ground);
l 系统接地:3Ω以下线径14mm2×1
l 3、设备外形尺寸;1300*1200*1800
l 4、冷却水(Cooling water):
l 压力:1.5~2kg/cm2,進出水口压力差1kg/cm2以上
l 流速:25~30L/M过滤软水
l 温度:20~22℃
l 水质:过滤软水
l 接头规格:1”PT內牙×2
四、技术服务及质量保证
1 、按ISO9001质量管理体系组织设计、加工、装调、检验、包装、运输;
2 、提供该设备的技术使用说明书及外购配件仪器仪表说明书;
3 、在甲方现场验收后,一年内免费维修正常使用出现的故障,非正常的故障维修只核收工本费,终身维修只核收工本费;
五、培训
1、培训时间:1周
培训人数:2~3人
2、培训内容及要求:
1)、了解设备的工作原理、组成及各部组件、控制系统的工作原理和使用方法;
2)熟练掌握整套系统的操作规程;
3)能够对设备的一般故障进行诊断和简单维修,进行易损件的更换;
4)对设备能够进行日常的维护和保养。
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